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干法刻蚀系统

成都真空设备厂家 surpass大口径等离子刻蚀机可定制

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●本设备主要用于半导体刻蚀能够兼容离子束刻蚀和反应离子刻蚀

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●Surpass系列干法刻蚀机特别适合于大口径高均匀性

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光学器件检测机构清析技术研究院2023-12-21

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